1、真空设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。
富彩vipA、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。
B、蒸汽流真空泵:水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。
富彩vipC、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。
D、真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
2、真空应用设备~在真空环境下(低于一个大气压的气体状态),应用的各种设备。
富彩vipA、真空镀膜机:蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。
B、真空冶炼炉:电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。
富彩vipC、真空热处理炉:淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。
富彩vipD、其它真空设备:冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。
3、真空测量仪器一测量低于一个大气压的气体和蒸汽压力的仪器。
A、低真空计(测量范围105---102Pa)。
B、中真空计(测量范围l02一l0-1Pa)。
C、高真空计(测量范围l0-1一10-5Pa)。
D、超高真空计(测量范围< 10-5Pa)。
富彩vip4、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。
富彩vip5、真空阀门一在真空系统中,用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、电磁阀、电磁带放气阀、隔膜阀和调节阀等。